德国Hellma晶体材料LD-A

德国Hellma晶体材料LD-A

　　Hellma公司由KarlMayer于1922年在德国耶拿创立，最初专注于生产光学玻璃比色皿。随着光学精密技术的迅猛发展，Hellma逐步扩展产品线，涵盖了超微量比色光学设备等领域。1995年，公司成功开辟新的产品方向，实现了纤维系列产品的开发。2010年，通过收购SchottLithotec，强化了晶体材料业务。

　　产品线与技术特点

　　核心产品：

　　比色皿：Hellma提供1700多种型号的比色皿，覆盖石英和光学玻璃等多种材质。这些比色皿光程范围从0.01mm到100mm，适配紫外到红外光谱（200nm-3500nm），如100-QS系列（岛津UV1800配套）。

　　光纤探头：Hellma于1995年光纤探头，用于在线分光检测。这些探头耐高温高压，为样本数据采集与测量过程同步进行提供了可能，大大节省了实验时间，并使有毒物质和放射性物质的光学测量变得更加安全可靠。

　　晶体材料：Hellma的晶体材料包括氟化钙（CaF₂）单晶和多晶，透光范围从130nm到9μm，折射率均匀性小于0.5ppm，适配光刻激光（193nm/248nm）。这些晶体材料在半导体生产微光刻中作为关键光学材料，被确立为投影和照明光学中准分子激光光学器件的行业标准材料。

　　技术优势：

　　精度：Hellma产品的光路公差为±0.01mm，窗口平整度小于4λ（λ=546nm），确保了测量的可重复性。

　　材料：采用高纯度石英和氟化钙等优质材料，单片热结合结构防泄漏，耐化学腐蚀。

　　制造工艺：Hellma以其高精度的生产工艺著称，如比色皿的光程精度高，样品腔内径误差极小，透光窗口平行度高，减少了光线折射和反射导致的光强损失。

　　Hellma氟化钙（CaF₂）晶体是一种高性能光学材料，具有从深紫外到红外波段的高宽带透射率、低折射率、低光谱色散、出色的激光耐久性和抗辐照能力，广泛应用于精密光学、半导体制造、天文观测、激光技术及科研医疗等领域。

　　核心特性

　　高宽带透射率：Hellma氟化钙晶体的透射波段范围为130nm（深紫外）至8μm（红外），部分资料显示可达9μm甚至10μm，覆盖真空紫外（VUV）、深紫外（DUV）、可见光及红外（IR）等多波段需求。

　　低折射率：折射率（nd）为1.43384，低光学损耗，适配精密光学系统。

　　低光谱色散：阿贝数（vd）为95.23，低色散特性使其在色校正光学系统中（如天文望远镜、高清镜头）能显著提升成像质量。

　　出色的激光耐久性：对157nm、193nm、248nm等准分子激光波长具有优异耐受性，适用于光刻激光光学器件和光束传输系统，延长组件寿命。

　　抗辐照能力：抵抗高能粒子辐射，适用于航空航天等恶劣环境。

　　高热导率：热导率为9.71W/（m·K），快速散热，适配高功率激光场景。

　　高环境适应性：大气下使用温度达600℃，真空干燥时可达800℃，机械强度高且抗潮解。

　　规格与定制

　　尺寸：多晶直径可达440mm，单晶直径可达250mm，厚度可定制至150mm。

　　晶体取向：支持<111>、<100>及随机取向定制。

　　表面质量：可选原始、切割、研磨、抛光等多种处理精度，平面度可达λ/10，光洁度20-10。

　　典型应用

　　半导体微光刻：作为248nm与193nm微光刻技术中照明和投影光学的行业标准材料，直接支撑45nm以下芯片制程精度。

　　天文观测：用于高分辨率空间相机、天文望远镜的光学元件，以及天基光学器件（如卫星载荷），其低应力双折射特性确保信号传输完整性。

　　激光技术：作为激光谐振腔镜、医用激光器（如光学相干断层成像设备）的核心材料，适配193nm、248nm等准分子激光波长。

　　科研医疗：用于红外光谱传感器、医用激光器等设备。

德国Hellma晶体材料LD-A