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更新时间:2026-05-18
浏览次数:9德国 Hellma 氟化钙(CaF₂)晶体
透射范围:130 nm(深紫外)~8 μm(中红外),覆盖 UV/VIS/IR 全波段。
关键指标:193 nm(光刻核心波长)内透过率≥99.3%/cm,无吸收峰、低杂散光;248 nm/355 nm/1–5 μm 红外透过率 **≥95%**。
价值:单材料适配多波段系统,减少元件数量、降低成本。

折射率:nd=1.43384;阿贝数:νd=95.23(仅为普通光学玻璃 1/5)。
均匀性:应力双折射 **≤0.5 nm/cm**,双折射效应 **≤5×10⁻⁷**,杜绝波前畸变。
价值:光刻、天文、精密成像分辨率 / 清晰度拉满。
纯度:金属杂质 **<1 ppm**,原子级晶格规整,无缺陷、无杂质。
低荧光:深紫外 / 可见光波段背景荧光极低,适配拉曼 / 荧光光谱高精度检测。
价值:半导体 7nm 以下制程、科研仪器标配。
耐受波长:157 nm/193 nm/248 nm 准分子激光,高频高功率长期照射不衰减。
损伤阈值:≥10 J/cm²@193 nm,远超行业标准。
价值:光刻物镜、激光谐振腔、光束传输寿命长、维护少。
热学:热导率9.71 W/(m·K)@20℃,补偿高热膨胀,低温度系数(~10⁻⁶/℃)。
机械:莫氏硬度 4 级,易加工 + 耐磨;最大尺寸直径 440 mm、厚度 150 mm,支持大口径定制。
环境:耐辐照(航天 / 高能环境)、耐高温(大气 600℃/ 真空 800℃)、抗潮解。
工艺:德国耶拿(Jena)熔体生长 + 精密退火,百年光学底蕴 + 原肖特光刻级技术。
定制:尺寸、取向(<111>/<100>)、端面镀膜、异形加工按需定制。

氟化钙(CaF₂)为立方晶系各向同性晶体,电子能带结构特殊:禁带宽度大(≈10 eV),130 nm~8 μm 波段无电子跃迁吸收,实现全波段高透射。
低色散源于离子晶体弱色散特性:折射率随波长变化极小,阿贝数高达 95.23,色差校正能力很强。
高均匀性:原子级规整晶格 + 低应力退火,光束波前几乎无畸变,保证光学系统成像 / 定位精度。
原料:超高纯 CaF₂粉料(99.999%+),杂质 < 1 ppm,从源头杜绝吸收与散射。
生长:自主熔体生长(坩埚下降法),精准控温梯度与气氛,抑制晶格缺陷 / 位错,生长大尺寸单晶。
退火:精密应力释放,应力双折射降至≤0.5 nm/cm,消除内应力导致的光学畸变。
半导体光刻:193 nm 深紫外高透 + 低色散 + 高激光耐久,支撑 45nm→7nm 制程光刻物镜。
高功率激光:低非线性折射率 + 高损伤阈值,激光光束无畸变、长期稳定传输。
天文 / 空间光学:低色散 + 耐辐照 + 大尺寸,空间相机 / 望远镜消色差 + 抗恶劣环境。
光谱分析:宽波段高透 + 低荧光,拉曼 / 红外 / 紫外光谱背景干扰极低、检测精度高。
德国 Hellma 氟化钙:深紫外 - 红外全通、超低色散、超高纯度、激光耐久、ji端工况稳定,半导体光刻 / 高功率激光 / 天文 / 精密光谱gao端光学系统材料,德国原厂品质、全定制服务、大尺寸交付。
半导体:193 nm 光刻物镜 / 照明光学、7nm 以下制程核心材料。
激光技术:准分子激光谐振腔、高功率激光窗口 / 棱镜、医用激光(OCT)。
天文 / 航天:空间望远镜、高分辨率卫星相机、航天光学窗口。
科研仪器:拉曼光谱、红外光谱、紫外 - 可见分光光度计、真空光学窗口。
工业检测:高精度光学测量、机器视觉、红外热成像系统。
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