德国Phytron步进电机

德国Phytron步进电机

　　Phytron步进电机是德国Phytron公司生产的高性能、高精度步进电机，具有多种型号和特性，适用于各种需要精确控制和定位的场合。

　　一、技术特点

　　高精度：Phytron步进电机采用精密加工和超精密磨削技术，步进角误差小，可实现高精度的定位和运动控制。例如，VSH-80步进电机的步距角为1.8°，分辨率高达6000步/转。

　　高转矩：Phytron步进电机具有较大的输出力矩，能够满足各种高负载应用的需求。例如，ESS电机最大力矩为3.5Nm，ESH电机大力矩为7Nm。

　　高速：Phytron步进电机具有较高的启动和运行速度，能够在短时间内实现精确的定位和控制。例如，ESS电机大转速为3000转/分钟，ESH电机大转速为1500转/分钟。

　　长寿命：采用优质材料和精密制造工艺，确保了电机的长寿命和可靠性。

　　易于控制：Phytron步进电机可采用开环或闭环控制方式，方便用户根据实际需求进行选择。同时，电机驱动器可接收脉冲信号或模拟信号输入，实现电机的速度和位置控制。

　　良好的兼容性：Phytron步进电机的驱动器和控制器可与多种主流品牌的PLC和运动控制器兼容，方便用户进行集成和控制。

　　二、产品系列与型号

　　Phytron步进电机拥有多个系列和型号，以满足不同用户的需求。以下是一些常见的系列和型号：

　　ESS/ESH系列：高性能、高品质的步进电机产品，适用于各种需要精确控制和定位的场合。ESS电机步进角为7.5°，ESH电机步进角为15°。

　　VSHE-FV-8L系列：采用双极性连接，额定电压为230V，额定电流为39A。步进角为1.8°，可通过微步进技术实现更高的分辨率。

　　ZSH87/1系列：永磁式步进电机，采用高性能的钕铁硼磁钢和优质硅钢片，具有高扭矩、高精度、低惯量和低噪音等优点。

　　PhySPACE25系列：体积小、重量轻，便于在空间有限的场合安装和使用。同时，它还具有高精度、高扭矩和低噪音等特点。

　　ZSS/ZSH系列：两相混合式步进电机，支持单极、双极控制，保持力矩从3.8-700mNm，法兰尺寸从19-56mm。

　　半导体制造：真空/洁净环境下的纳米级定位

　　Phytron真空系列电机（VSS/VSH）适配10⁻⁹mbar超高真空与Class1洁净室，是晶圆处理、光刻、蒸镀/刻蚀的核心驱动部件。

　　关键应用：晶圆载台对准（±0.1μm/s平移，纳米级定位）、光刻物镜校准、真空蒸镀靶材平移（±1μm精度）、刻蚀腔室样品台驱动、CVD/PVD设备的晶圆搬运。

　　核心型号：VSS系列（真空兼容）、Lithotec®配套驱动电机（与光刻机同源材料适配）。

　　技术价值：耐-196℃~+125℃宽温，无油润滑适配高洁净，保障5nm及以下制程良品率。

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