瑞士Admotec Precision变压器RO系列

瑞士Admotec Precision变压器RO系列

　　瑞士Admotec-Precision（简称Admotec）是精密磁传感器与旋转变压器领域的制造商，1987年成立于瑞士苏黎世，核心技术为Rotasyn实心转子无绕组旋转变压器，专注于ji端工况下的高精度角度/位置反馈，广泛服务于半导体、航空航天、汽车、核能、工业自动化等行业。

　　Admotec-Precision的RO系列旋转变压器虽非专为半导体行业设计，但其高精度、强环境适应性、高可靠性及兼容性等特性，使其在该领域具备潜在应用价值，尤其在半导体制造设备的精密运动控制与ji端环境监测中可发挥关键作用。

　　核心应用场景与推荐型号（优先级排序）

　　1.光刻机（光刻物镜/晶圆台/双工件台）

　　光刻物镜调焦/调平电机角度反馈：RO2010（20mm定子，≤4mm轴径），高速微型，无接触免维护，适配真空腔与高频动态响应

　　晶圆台/双工件台旋转轴定位：RO3620/RO5032，多极对版本提升分辨率至±4弧分，配合高带宽RDC实现纳米级角度闭环

　　物镜温控模块阀门角度反馈：RO2613，小型化，介质兼容，温控精度辅助至±0.1°C

　　2.刻蚀机（反应腔/偏压电极/气体阀门）

　　反应腔高压工艺阀门角度控制：RO5032-K（宽温+钛合金+高压密封），耐受1600bar，耐腐蚀性气体（如CF4、SF6）

　　偏压电极/静电卡盘（ESC）旋转定位：RO3620，强EMI免疫，适配等离子体环境

　　刻蚀腔清洁机器人关节反馈：RO2010/RO2613，小型化，高速，洁净室兼容

　　3.离子注入机/薄膜沉积（CVD/PVD/ALD）

　　离子束角度与扫描机构定位：RO3620，高速高精度，宽温，强EMI免疫

　　气体流量/工艺压力阀门控制：RO5032，油浸/介质兼容，无密封设计，降低维护成本

　　沉积腔旋转工作台角度反馈：RO6040，中型定子，适配重载与高精度闭环

　　4.晶圆传输与自动化（机械臂/EFEM/AMHS）

　　晶圆传输机器人关节电机角度反馈：RO2010/RO2613，低惯性，高速，小型化，适配洁净室与频繁启停

　　真空EFEM（设备前端模块）旋转轴定位：RO3620，无轴承无框架，真空兼容，密封电缆

　　三、半导体专项选型步骤（优先级排序）

　　工况匹配（优先级1）

　　真空/洁净室→无轴承无框架RO系列+密封电缆+真空涂层

　　高速（>30,000RPM）→RO2010/RO3620+G1.0动平衡

　　宽温/化学腐蚀→K级材质+钛合金转子+高压密封

　　安全关键/冗余需求→冗余双输出RO型号

　　机械集成（优先级2）

　　定子外径、气隙、轴径适配；安装方式（压接/法兰/夹紧）

　　高速需G1.0级动平衡；真空腔需无轴承无框架+密封航空插头

　　电气与信号处理（优先级3）

　　电源频率（400Hz至10kHz）、电压、输出信号类型与RDC兼容

　　电缆长度与屏蔽，适配半导体EMC要求；可定制冗余双输出

瑞士Admotec Precision变压器RO系列