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Physik Instrumente(PI)位移台

Physik Instrumente(PI)位移台
纳米定位压电弯曲平台
微型舞台
线性平台
线性执行器
旋转台
XY平台

  • 产品型号:P-733.3CD
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2020-08-11
  • 访  问  量:1423
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Physik Instrumente(PI)位移台

纳米定位压电弯曲平台

微型舞台

线性平台

线性执行器

旋转台

XY平台

PI的多轴压电挠性位移台允许在多达6个轴上以亚纳米精度进行定位和扫描,包括,倾斜和偏航运动。版本范围从紧凑的立方体设计到大孔径和薄型。

XYZ扫描仪是定位技术的方位工具。应用包括样品调整,技术,光学计量,光纤定位和光子学以及原子力显微镜。

所有压电纳米定位系统均已在工厂校准,并随测量记录一起提供。

P-733.3 XYZ压电纳米定位器

应用领域

  • 扫描显微镜
  • 共聚焦显微镜
  • 掩膜/晶圆定位
  • 表面测量技术
  • 纳米压印
  • 显微操作
  • 图像处理/稳定
  • 纳米定位具有很高的平面度和运动平直度

电容式传感器的亚纳米分辨率

电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了的运动线性,长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换

机械和控制器可以根据需要进行组合并快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时,数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用

压电系统中使用的所有组件都适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

PICMA®压电执行器,使用寿命长

获得利PICMA®压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和泄漏电流增加引起的故障的影响。PICMA®执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。事实证明,没有单一故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨,导向精度高

挠性导板无维护,无摩擦和无磨损,并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力,并且冲击和振动不敏感。它们是100%真空兼容的,并且可在较宽的温度范围内工作。

平行位置测量,在纳米范围内具有很高的跟踪精度

所有的自由度均以单个固定参考为参考。可以实时(取决于带宽)主动补偿(主动引导)轴之间的不良串扰。即使在动态操作中,也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。

P-733.3CD

P-733.3CD

P-733.3CL

P-733.3DD

P-733.3CL

P-733.3DD

应用领域:

  • 六脚架支持工业机器人
  • 科学仪器
  • 半导体技术
  • 显微镜检查
  • 硅光子学
  • 技术
  • 材料研究
  • 机械工业
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