Admotec Precision变压器RO系列在半导体行业

　　瑞士Admotec-Precision（简称Admotec）是精密磁传感器与旋转变压器领域的制造商，1987年成立于瑞士苏黎世，核心技术为Rotasyn实心转子无绕组旋转变压器，专注于工况下的高精度角度/位置反馈。

　　Admotec-Precision的RO系列（Rotasyn实心转子旋转变压器，非电力变压器）在半导体行业的核心应用、技术适配点。

　　RO系列凭借无轴承无框架+实心无绕组转子+恒定气隙+宽温耐压密封设计，适配半导体制造的真空、高温、化学腐蚀、强EMI/等离子体、高速高精度定位等ji端工况。

　　核心应用场景与推荐型号（优先级排序）

　　1.光刻机（光刻物镜/晶圆台/双工件台）

　　光刻物镜调焦/调平电机角度反馈：RO2010（20mm定子，≤4mm轴径），高速微型，无接触免维护，适配真空腔与高频动态响应

　　晶圆台/双工件台旋转轴定位：RO3620/RO5032，多极对版本提升分辨率至±4弧分，配合高带宽RDC实现纳米级角度闭环

　　物镜温控模块阀门角度反馈：RO2613，小型化，介质兼容，温控精度辅助至±0.1°C

　　2.刻蚀机（反应腔/偏压电极/气体阀门）

　　反应腔高压工艺阀门角度控制：RO5032-K（宽温+钛合金+高压密封），耐受1600bar，耐腐蚀性气体（如CF4、SF6）

　　偏压电极/静电卡盘（ESC）旋转定位：RO3620，强EMI免疫，适配等离子体环境

　　刻蚀腔清洁机器人关节反馈：RO2010/RO2613，小型化，高速，洁净室兼容

　　3.离子注入机/薄膜沉积（CVD/PVD/ALD）

　　离子束角度与扫描机构定位：RO3620，高速高精度，宽温，强EMI免疫

　　气体流量/工艺压力阀门控制：RO5032，油浸/介质兼容，无密封设计，降低维护成本

　　沉积腔旋转工作台角度反馈：RO6040，中型定子，适配重载与高精度闭环

　　4.晶圆传输与自动化（机械臂/EFEM/AMHS）

　　晶圆传输机器人关节电机角度反馈：RO2010/RO2613，低惯性，高速，小型化，适配洁净室与频繁启停

　　真空EFEM（设备前端模块）旋转轴定位：RO3620，无轴承无框架，真空兼容，密封电缆

　　RO系列旋转变压器在机械和电气上与传统无刷旋转变压器兼容，可以方便地替换原始设备或现有设备中的传感器，实现设备升级。同时，AdmotecPrecision还提供定制化服务，可根据半导体制造设备的特定需求，设计不同尺寸、绕组特性、高温/高辐射绝缘材料（如Kapton）、更大气隙等定制产品，满足特殊应用场景的需求。